高真空热处理炉操作规程

　　掌握好高真空热处理炉的正确操作规程，可以有效确保设备的稳定运行，且更好的发挥作用效果。但是很多用户对于规程都不是很了解，所以下面我们具体总结了下。
　　1、打开高真空热处理炉炉门，装料。关闭炉门并确保炉膛密封完好。
　　2、检查各手动真空阀门，确保处于关闭状态。
　　3、送入总电源，控制显示屏亮。
　　4、打开水冷机电源，在水冷机操作界面上输入需要的水温，启动水冷系统（详见水冷机使用操作说明书）。
　　5、打开旋片泵上的排气口，确保气体循环。（旋片泵使用完毕后，封上排气孔，避免杂物进入旋片泵）保证扩散泵、旋片泵阀门处于关闭状态。
　　6、在触摸屏操作界面上启动旋片泵和扩散泵。
　　7、缓缓旋转打开旋片泵阀门，避免排气口由于气量过大喷油。
　　8、待旋片泵、扩散泵运行1小时左右及真空计右侧显示屏上显示小于100Pa后，关闭旋片泵阀门，打开扩散泵阀门。
　　9、待高真空热处理炉真空计显示屏上达到需要的真空度后关闭真空泵组后开始升温。（真空泵组关闭流程：先关闭扩散泵阀→停止扩散泵→ 40分钟后停止旋片泵）也可抽真空过程中加热。
　　10、在升温操作界面上输入需要的工艺要求，开始加热。
　　11、待升温程序停止后，（如果是加热过程中抽真空，待炉膛温度降到适合工艺的温度后，关闭真空泵组，关闭流程同上）扩散泵温度降到可触碰温度方可关闭水冷机。
　　12、等炉温降到室温时，打开放气阀，待炉膛内部气压到大气压。
　　13、将高真空热处理炉炉门打开，取出材料。
　　14、取出材料后要对炉膛内部进行清洁，长期不使用时炉门保持关闭状态，并使炉膛内部保持真空状态。